нагрэў рэактара mocvd з індукцыяй
Рэактары металарганічнага хімічнага асаджэння з паравой фазы індукцыйнага нагрэву (MOCVD) - гэта тэхналогія, накіраваная на павышэнне эфектыўнасці нагрэву і памяншэнне шкоднай магнітнай сувязі з газам на ўваходзе. Звычайныя рэактары MOCVD з індукцыйным нагрэвам часта маюць індукцыйную шпульку, размешчаную па-за камерай, што можа прывесці да менш эфектыўнага нагрэву і магчымых магнітных перашкод у сістэме падачы газу. Апошнія… Больш падрабязна